利用硅独特的电气性质和出色的金属特性，含有 MEMS 的集成电路正在给半导体行业带来一场巨大变革。虽然硅的电气特性是半导体行业四五十年发展的产业基础，但是挖掘硅的机械特性相对来说还是一个较新的现象，比人的毛发直径还小的 MEMS 陀螺仪是一项尖端技术。

新陀螺仪产品是用于测量角速度的元器件，它们的问世将进一步完善 ST 现有的两轴和三轴 MEMS 加速计，为客户提供一个完整的惯性传感器平台。小尺寸，高灵敏度，低功耗，ST 的 MEMS 陀螺仪将为手机、便携设备、MP3/MP4 播放器、PDA、游戏和导航设备等消费电子应用领域开拓新的用途。ST 预计在 2008 年前半年开始大规模生产 MEMS 陀螺仪。

陀螺仪市场在很多应用领域都呈现高速增长的趋势。除汽车电子稳定系统和 GPS 接收机外，行业分析家认为 MEMS 陀螺仪将会在消费电子市场出现高速增长，例如，便携通信设备的运动用户界面以及摄像机和数码相机的图像稳定器。分析家预计今后五年 MEMS 陀螺仪的总有效市场会增长三倍，从 2006 年的 4 亿美元增长到 2012 年 12 亿美元。

2006 年 11 月，意法半导体在米兰 Agrate 地区新建成一条最先进的 200mm (8 英寸)半导体晶圆生产线，该生产线专门用于制造 MEMS 器件。目前还在试产和测试中的 ST 第一代陀螺仪将来和现有的线性加速计共用这条生产线。

除现有的 4、5、6 英寸生产线外，赛斯最近对在 Lainate 的公司总部的 PageWafer 生产线进行了设备升级，使其可以加工 8 英寸的晶圆。赛斯的 8 英寸晶圆生产线于 2006 年底开始全负荷运转，正在为 ST 的 8 英寸晶圆生产线提供配套服务。

赛斯吸气剂集团设计 PageWafer 的目的是为保证晶圆对晶圆气密焊接的 MEMS 器件内的真空或惰性气体的稳定性。该产品由一个晶圆和一层吸气剂薄膜组成，这层薄膜的厚度只有几微米，有规律地放在特定的空穴上面，洞穴的形状和深度是按客户的要求定义的。充当 MEMS 封装的盖状晶圆，PageWafer 最大限度地吸附所有的活性气体，像 H₂O、O₂、CO、CO₂、N₂ 和 H₂，从而提高了器件的可靠性和寿命周期。

气压分布均匀和加工时间大幅度缩减是在 8 英寸等大尺寸晶圆内集成吸气剂薄膜技术的独特优势。

除供应 PageWafer 技术外，赛斯吸气剂集团将在气密封装设计和特性表征以及真空需求定义等方面为 ST 提供技术咨询支持，此外，还提供溢出气体和剩余气体分析服务。

“我们特别高兴能够与像 ST 这样的 MEMS 全球市场的重量级厂商合作，”赛斯吸气剂集团 MEMS 业务拓展经理 Marco Moraja 表示，“消费电子应用领域中的 MEMS 运动传感器是我们目标市场中最具挑战性的市场之一，被集成到 ST 的先进的 MEMS 陀螺仪内的 PageWafer 技术代表了我们所服务的汽车工业以外的 MEMS 应用领域的厂商对我们的吸气剂薄膜产品的极大认可。”

“在与像赛斯这样的行业领导厂商合作方面，ST 拥有悠久而且成功的历史，”意法半导体 MEMS 产品部总经理 Benedetto Vigna 表示，“通过在 ST 先进的 MEMS 技术中整合赛斯的吸气剂薄膜专业技术，我们将确保客户能够获得质量最好的陀螺仪产品，这也是我们进一步扩大高速增长的 MEMS 业务的重要机遇。”

关于赛斯吸气剂集团公司

作为吸气剂技术开发的先驱，赛斯吸气剂集团公司是各种真空条件和超纯气体要求极严的科技工业应用领域的全球第一大厂商。六十年来，该公司的吸气剂解决方案在很多行业和技术领域催生了多项创新成果，如信息显示器工业、照明工业、大型真空功率管技术、小型微机电系统产品以及复杂的高真空系统和真空热绝缘技术。该集团公司在半导体及其它高科技超纯气体处理市场上居领先水平。从 2004 年开始，赛斯吸气剂集团公司利用在冶金学和材料学方面的核心技术，推出了新系列光学晶体和形状记忆合金产品，从此将公司业务扩大到先进材料市场。10 个横跨三大洲的制造厂，覆盖全球的销售服务网络，近 900 名员工，融多元文化的技能和知识于一身，赛斯是真正的全球性企业。赛斯吸气剂集团总部设在意大利米兰地区，从 1986 年起，成为意大利股票交易所 STAR 板块的上市公司。

详细信息 : www.saesgetters.com

赛斯吸气剂集团 ? 前瞻声明